微粒学의시료전처리장치는표면적및기공부피분석을위해시료배치를전처리하는장비입니다。유동가스및/또는진공을열과결합하여시료의표면과기공에있는수증기,흡착된가스와같은대기오염물질을제거합니다。표면적및기공부피분석에서생성된데이터의품질은시료표면의청정도에크게좌우됩니다。微粒学의모든시료전처리장치는헬륨,질,소아르곤및기타비부식성가스를사용합니다。